第129章第一片工业化芯片
李国成把光刻胶涂抹在氧化后的晶圆上,用一个局部真空的吸盘固定住晶圆中心,提起来放入手心轻轻转动,利用离心力把光刻胶均匀地布满整个平面。
完成这一步操作后,李国成暗暗决定,实验完成一定要制造一个甩胶机。还用手转动甩胶,太LOW了。
但是在外人看来,李国成的每一个动作都是非常自信,驾轻就熟,隐有韵律。这可能就是长期修改的好处吧,不经意间就装了个大X。
由于涂抹的光刻胶太薄,静置十几分钟就会干透。
趁着这个空挡,李国成走到光刻机旁边,在底座托盘上放上一片同样规格的晶圆,再一次调整焦距到最佳状态,然后转动紫光部分移动手柄,模拟紫外光刻印一个一个晶圆方格,确定最佳走行距离和最为经济的光刻距离。
完成不知第几次的模拟后,各种参数记在心田。
来到刚才晶圆前,放出念力,检查光刻胶已经干透。用带着橡胶手套的双手捧起晶圆,放入托盘中,四周固定。
启动紫外光,掩膜版上的图形清晰地刻印在指定的方格内,静等9分钟后,在念力中,紫光照射中的光刻胶化学反应完成,并凝固。这样就能保证刻蚀时,留存光刻胶覆盖的晶圆部分。
关闭紫光,拿出晶圆,用放大镜观察。其实这一步是做给外边人看的,只是个样子。实际上在念力的探查下,已经确定光刻机和光刻胶都达到了设计预期。
重新固定好晶圆,按照由上到下,由右到左的顺序,逐个方格刻印。很块就完成了32个收音机专用芯片的刻印。
取下晶圆,来到刻蚀机旁边,首先浸入第一个液体箱,这一次依据验证时的数据,等待30分钟后又延长了2分钟,取出。
其实整个过程都在李国成的念力监控中,延长的2分钟,就是他根据当前去情况调整的。
在大玻璃后面记录的周晓娟,皱了一下眉头,没有说话,只是重点标注了的时间。
放入第二个液体中,这一次的时间没有调整,刚好12分钟。
但是在清洗这个过程中,比之前的工艺多出了5分钟。
下一步是烘干,只是一个非常简易的电热丝加热。很快就完成。
接下来又是繁琐的手工工作,但是这对于有念力的李国成来说反而最没有挑战,不到20分钟就在各个位置放好了需要掺杂的原料。
为了不惊世骇俗,李国成故意又比划了30分钟。至于以后谁负责这道工序,李国成只能为他祈祷了。
没有自动机器,这个工作需要在放大镜下面操作,反复确认后才会再添加一点,直到满足要求。李国成不使用放大镜,是因为在过去两年内,早就展示过他那强大的眼力和控制力。
再次确认没有问题后,把晶圆放入真空
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